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发明名称
Besonders stabiler Excimer- oder molekularer Fluor-Laser
摘要
申请公布号
DE60015631(D1)
申请公布日期
2004.12.16
申请号
DE20006015631
申请日期
2000.03.10
申请人
LAMBDA PHYSIK AG
发明人
BORNEIS, STEFAN;BRUNWINKEL, KLAUS;STAMM, DR.;VOSS, FRANK
分类号
H01S3/134;G03F7/20;H01S3/036;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225
主分类号
H01S3/134
代理机构
代理人
主权项
地址
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