发明名称 Verfahren zur Bildung eines flachen Übergangs in einem Halbleiter-Bauelement
摘要
申请公布号 DE19722112(B4) 申请公布日期 2004.12.16
申请号 DE19971022112 申请日期 1997.05.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 LEE, KIL HO;YU, SANG HO
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/823;H01L21/324 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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