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发明名称 Herstellungsverfahren für einen dünnen Halbleiterfilm
摘要
申请公布号 DE69633754(D1) 申请公布日期 2004.12.09
申请号 DE1996633754 申请日期 1996.02.16
申请人 SHARP K.K., OSAKA 发明人 TOMITA, TAKASHI;NOMOTO, KATSUHIKO;YAMAMOTO, YOSHIHIRO;SANNOMIYA, HITOSHI;TAKAGI, SAE
分类号 C23C16/515;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/20;C23C16/50;C23C18/50 主分类号 C23C16/515
代理机构 代理人
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