发明名称 非挥发性磁性记忆装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种MRAM,其具有可确实达成构成隧道磁阻(TMR)元件各层之平坦化,且可赋予电性连接TMR元件与选择用电晶体之连接孔高度可靠性之构造。TMR型之MRAM具有:选择用电晶体TR;第一连接孔23;第一配线(写入字线RWL);覆盖第一层间绝缘层21及第一配线RWL之第二层间绝缘层25;形成于第二层间绝缘层25上之TMR元件30;形成于第三层间绝缘层26上之第二配线(位元线);及设于第二层间绝缘层25,而与第一连接孔23连接之第二连接孔52;TMR元件30另一端之延伸部37之端面与第二连接孔52连接。
申请公布号 TW200426840 申请公布日期 2004.12.01
申请号 TW092135571 申请日期 2003.12.16
申请人 新力股份有限公司 发明人 元吉真
分类号 G11C11/56 主分类号 G11C11/56
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本
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