| 发明名称 |
Beschichtungsanlage für scheibenförmige Werkstücke |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50104178(D1) |
申请公布日期 |
2004.11.25 |
| 申请号 |
DE2001504178 |
申请日期 |
2001.06.15 |
| 申请人 |
UNAXIS BALZERS AG, BALZERS |
发明人 |
MATT, THOMAS |
| 分类号 |
C23C14/56;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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