快速热退火的方法

摘要

本发明是关于一种快速热退火的方法，其制程是在快速热退火装置中对一晶圆进行第一快速热退火步骤，并监测一制程参数，判断该制程参数的实测值是否超出一第一制程参数范围，其中第一制程参数范围是为第一快速热退火制程正常进行时的制程参数加减一第一预定数值，接着进行一第二快速热退火步骤，并监测该制程参数，判断制程参数的实测值是否超出一第二制程参数范围，其中该第二制程参数范围是为此制程参数加减一第二预定数值，且第一制程参数范围大于第二制程参数范围。本发明制程能够在快速热退火步骤的初期检测出该快速热退火制程的制程稳定性；并能够在热退火制程不稳定时，在快速热退火步骤的初期就停止快速热退火制程，而可避免晶圆报废。

主权项

1、一种快速热退火的方法，适用于一快速热退火装置，其中该快速热退火装置具有一高温计，用以测量该快速热退火制程的温度，其特征在于该快速热退火的方法至少包括下列制程步骤：在该快速热退火装置中对一晶圆进行一第一快速热退火步骤，并监测一制程参数，判断该制程参数的实测值是否超出一第一制程参数范围，其中该第一制程参数范围是为该第一快速热退火制程正常进行时的该制程参数加减一第一预定数值；以及进行一第二快速热退火步骤，并监测该制程参数，判断该制程参数的实测值是否超出一第二制程参数范围，其中该第二制程参数范围是为该第一快速热退火制程正常进行时的该制程参数加减一第二预定数值，其中该第一制程参数范围大于该第二制程参数范围。