发明名称 |
一种振镜式激光扫描系统 |
摘要 |
本发明公开了一种振镜式激光扫描系统,包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头。激光束通过聚焦模块,经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面,所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成,全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置;控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动,实现二维扫描。增设动态聚焦模块后,可实现三维扫描。本发明构成的激光扫描系统结构简单,精度更高、扫描速度更快、可靠性更高、成本更低,克服模拟式温漂。 |
申请公布号 |
CN1547055A |
申请公布日期 |
2004.11.17 |
申请号 |
CN200310111572.9 |
申请日期 |
2003.12.12 |
申请人 |
华中科技大学 |
发明人 |
黄树槐;史玉升;叶春生;陈国清;谢军;文世峰 |
分类号 |
G02B26/10;G02B3/00;H01S3/00 |
主分类号 |
G02B26/10 |
代理机构 |
华中科技大学专利中心 |
代理人 |
曹葆青 |
主权项 |
1、一种振镜式激光扫描系统,包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头,激光束通过聚焦模块,经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面,其特征在于:所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成,全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置;控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动,实现二维扫描。 |
地址 |
430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |