发明名称 一种振镜式激光扫描系统
摘要 本发明公开了一种振镜式激光扫描系统,包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头。激光束通过聚焦模块,经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面,所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成,全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置;控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动,实现二维扫描。增设动态聚焦模块后,可实现三维扫描。本发明构成的激光扫描系统结构简单,精度更高、扫描速度更快、可靠性更高、成本更低,克服模拟式温漂。
申请公布号 CN1547055A 申请公布日期 2004.11.17
申请号 CN200310111572.9 申请日期 2003.12.12
申请人 华中科技大学 发明人 黄树槐;史玉升;叶春生;陈国清;谢军;文世峰
分类号 G02B26/10;G02B3/00;H01S3/00 主分类号 G02B26/10
代理机构 华中科技大学专利中心 代理人 曹葆青
主权项 1、一种振镜式激光扫描系统,包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头,激光束通过聚焦模块,经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面,其特征在于:所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成,全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置;控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动,实现二维扫描。
地址 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号