使用静电夹头之基板保持机构及其制造方法

摘要

本发明之基板保持机构具备：载置台，其系保持被处理基板者，该载置台具备：表面；及突起部，其系于前述表面上以包围前述表面之特定区域之方式连续形成，具有高度较前述表面为高之上面，并以外周面区划者；静电吸附板，其系设置于前述表面上之以前述突起部包围之区域，以静电作用吸附基板者；第1保护构件，其系具有侧面，设置于前述静电吸附板上之同时，一部分与前述上面相对，保护前述静电吸附板者；黏接剂层，其系至少设置于前述静电吸附板与前述第1保护构件之间，黏接前述静电吸附板与前述第1保护构件者；及第2保护构件，其系以至少前述黏接剂层隐藏之方式覆盖前述外周面与前述侧面者。