| 摘要 |
本发明系关于供精密零件用基板研磨用之微小起伏降低剂，其包含具有2个以上离子性亲水基之界面活性剂；供精密零件用基板研磨用之微小起伏降低剂，其包含具有OH基或SH基且总碳数为2–15之多元羧酸化合物或其盐；含有该微小起伏降低剂、研磨材料及水之精密零件用基板研磨液组合物；含有水、研磨材料、有机酸或其盐及界面活性剂之研磨液组合物，其中有机酸为具有OH基或SH基且总碳数为2–15之多元羧酸，且界面活性剂在分子中具有2个以上离子性亲水基且分子量为300以上；精密零件用基板之微小起伏之降低方法，以及精密零件用基板之制造方法。 |
