微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种用以在辐射之一脉冲期间补偿一微影装置中的一基板之移动的方法，该补偿系藉由提供用以与该基板同步地移动入射在该基板上的图案化投影光束之一构件。