灰阶罩幕之缺陷检查方法

摘要

本发明的灰阶罩幕之判断(检查、保证)、修正方法，系相关执行正常图案或所谓修正图案之判断的情况时，可轻易地执行灰阶部在使用者曝光、转印处理中，是否会造成问题的检查(判断)。本发明的灰阶罩幕之缺陷检查方法，系经调整穿透量的区域，且以减低穿过此区域之光穿透量，俾选择性改变光阻膜厚为目的，且具有灰阶部、遮光部及穿透部；其包含有：(1)制作上述灰阶部之影像资料的步骤；(2)根据上述影像资料，对灰阶部施行成可辨识缺陷之影像处理的步骤；以及(3)根据上述影像处理后的资料，施行缺陷检查的步骤。