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发明名称 DIELEKTRISCHE FILME UND DEREN HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 AT281545(T) 申请公布日期 2004.11.15
申请号 AT20000959525T 申请日期 2000.08.28
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 BASCERI, CEM;GEALY, DAN
分类号 C23C16/40;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):C23C16/40;H01G4/12;H01B3/12;C04B35/468;C04B35/47;C04B35/472 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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