发明名称 Halbleitereinrichtung mit einer unteren und einer oberen Elektrode und zugehöriges Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19726069(B4) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 DE19971026069 申请日期 1997.06.19
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 NAKATANI, YASUO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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