| 发明名称 | 反射蝇眼式光束均匀器 | ||
| 摘要 | 一种用于准分子激光的反射蝇眼式光束均匀器，其特征是将n<SUP>2</SUP>(n为正整数)小块方形的镀有全反膜的凹面镜固定在同一块方形基板上组合成n×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出方向垂直于输出光束设置一透镜组成。每小块方形的镀有全反膜的凹面镜具有相同的曲率半径。本发明的反射蝇眼式光束均匀器，具有加工难度小，对加工材料要求不高，价格低廉，全反膜的损耗也很小。 | ||
| 申请公布号 | CN1540369A | 申请公布日期 | 2004.10.27 |
| 申请号 | CN200310108226.5 | 申请日期 | 2003.10.28 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 叶震寰;楼祺洪;董景星;魏运荣;凌磊 |
| 分类号 | G02B5/09;G02B5/10;G02B27/14;H01S3/00 | 主分类号 | G02B5/09 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1.一种反射蝇眼式光束均匀器，其特征是将n2块方形的镀有全反膜的凹面镜粘在同一块方形基板上组合成n×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出方向垂直于输出光束设置一透镜组成。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||