| 主权项 |
1.一种对于液滴吐出喷头之机能液填充方法,是针对对于将机能液填充于液滴吐出喷头的喷头内流路的液滴吐出喷头之机能液填充方法,其特征具备:加压输送机能液,以填充在上述液滴吐出喷头的喷头内流路之加压送液工程;及在上述加压送液工程后,由上述液滴吐出喷头的喷嘴吸引机能液之吸引工程。2.如申请专利范围第1项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充方法,其中,在上述加压送液工程的各部之机能液流速以低于上述吸引工程的各部之机能液流速的速度下进行填充。3.如申请专利范围第1项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充方法,其中,上述吸引工程系在上述液滴吐出喷头密接吸引外罩之状态下进行,上述加压送液工程系在可以上述吸引外罩承受由上述喷嘴所排出的机能液之状态下进行。4.如申请专利范围第1项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充方法,其中,上述吸引工程系在使吸引外罩密接在上述液滴吐出喷头之状态下进行,而且,在最终阶段,一面继续吸引一面使液滴吐出喷头离开该吸引外罩。5.如申请专利范围第1项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充方法,其中,另外具备:在吸引工程后,在上述液滴吐出喷头暂时加压输送机能液之暂时加压送液工程。6.一种对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,是针对对于将机能液填充于液滴吐出喷头的喷头内流路的液滴吐出喷头之机能液填充装置,其特征具备:加压上述机能液储存部,将该机能液储存部内的机能液透过供给管路而加压输送于上述液滴吐出喷头之加压送液工程;及介由密接在上述液滴吐出喷头的外罩,由该液滴吐出喷头的喷嘴吸引机能液之吸引手段;及控制上述加压送液手段以及上述吸引手段之控制手段,上述控制手段系驱动上述加压送液手段,在上述液滴吐出喷头的喷头内流路填充机能液后,驱动上述吸引手段,由上述液滴吐出喷头吸引机能液。7.如申请专利范围第6项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述控制手段在停止上述加压送液手段的驱动后,才开始上述吸引手段的驱动。8.如申请专利范围第7项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述加压送液手段系具有:对上述机能液储存部供给压缩空气之压缩空气供给源;及连接上述压缩空气供给源和上述机能液储存部之加压用管路;及介设在上述加压用管路,藉由上述控制手段所开关控制之加压侧开关阀,上述加压送液手段的驱动以及驱动停止,系藉由开关上述加压侧开关阀来进行。9.如申请专利范围第6项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,另外具备:介设在上述供给管路,藉由上述控制手段所开关控制的开关阀,上述控制手段在上述吸引手段之驱动开始前,关闭上述开关阀,在开关阀关闭后,开始该吸引手段的驱动,在该吸引手段之驱动继续中,开放该开关阀。10.如申请专利范围第9项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述控制手段在上述吸引手段之驱动继续中,多数次开关上述开关阀。11.如申请专利范围第9项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述开关阀系介设在上述液滴吐出喷头附近的上述供给管路。12.如申请专利范围第6项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述控制手段控制上述加压送液手段以及上述吸引手段以使得藉由上述加压送液手段之机能液的流速低于藉由上述吸引手段的机能液之流速。13.如申请专利范围第6项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述外罩兼为承受藉由上述加压送液手段的驱动而由上述液滴吐出喷头的喷嘴所排出的机能液之容器。14.如申请专利范围第13项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述吸引手段具有对于上述液滴吐出喷头可使上述外罩相对地离开之离接机构,上述控制手段在最终阶段,一面继续上述吸引手段的驱动,一面藉由上述离接机构,使上述外罩由上述液滴吐出喷头分开。15.如申请专利范围第6项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置,其中,上述控制手段在停止上述吸引手段的驱动后,暂时驱动上述加压送液手段。16.一种液滴吐出装置,其特征为具备:申请专利范围第6项记载之对于液滴吐出喷头之机能液填充装置;及对于工件,相对地扫描,由喷嘴吐出机能液之液滴吐出喷头。17.如申请专利范围第16项记载之液滴吐出装置,其中,对于上述液滴吐出喷头之机能液填充装置另外具备:储存供应给上述机能液储存部的机能液,使上述机能液储存部作用为副储存桶之主储存桶,上述加压送液手段兼为由上述主储存桶对于上述机能液储存部供给机能液之供给手段。18.一种光电装置,其特征为:利用申请专利范围第16项记载之液滴吐出装置,使上述当成工件之基板上具有由上述液滴吐出喷头所吐出的机能液滴所形成的成膜部。19.一种光电装置之制造方法,其特征为:利用申请专利范围第16项记载之液滴吐出装置,由上述液滴吐出喷头吐出机能液,在上述成为工件之基板上形成成膜部。20.一种电子机器,其特征为搭载:申请专利范围第18项记载之光电装置。图式简单说明:第1图系实施形态的液滴吐出装置之外观斜视图。第2图系实施形态的液滴吐出装置之正面图。第3图系实施形态的液滴吐出装置之右侧面图。第4图系省略实施形态的液滴吐出装置之一部份的平面图。第5图系实施形态的喷头单元平面图。第6A、B图系实施形态的液滴吐出喷头之斜视图(6A)和液滴吐出喷头的重要部位的剖面图(6B)。第7图系实施形态的吸引单元斜视图。第8图系实施形态的吸引单元正面图。第9图系实施形态的吸引单元之外罩的剖面图。第10图系实施形态的给液副储存桶之斜视图。第11图系实施形态的液滴吐出装置之配管系统图。第12图系显示对于实施形态的液滴吐出喷头之机能液的填充处理流程的流程图。第13图系说明彩色滤光片制造工程的流程图。第14A-E图系依据制造工程顺序所显示的彩色滤光片的模型剖面图。第15图系显示利用使用本发明之彩色滤光片的液晶装置之概略构造的重要部位剖面图。第16图系显示利用使用本发明之彩色滤光片的第2例液晶装置之概略构造的重要部位剖面图。第17图系显示利用使用本发明之彩色滤光片的第3例液晶装置之概略构造的重要部位剖面图。第18图系第2实施形态之显示装置的重要部位剖面图。第19图系说明有机EL装置之显示装置的制造工程流程图。第20图系说明无机物储存层的形成工程图。第21图系说明无机物储存层的形成工程图。第22图系说明形成电洞植入/输送层过程之工程图。第23图系说明形成电洞植入/输送层之状态的工程图。第24图系说明形成蓝色发光层过程之工程图。第25图系说明形成蓝色发光层之状态的工程图。第26图系说明形成各色发光层之状态的工程图。第27图系说明阴极之形成之工程图。第28图系电浆型显示装置(PDP装置)之显示装置的重要部位分解斜视图。第29图系电子放射装置(FED装置)之显示装置的重要部位剖面图。第30A、B图系显示装置之电子放射部周围的平面图(30A)以及显示其之形成方法的平面图(30B)。 |
