透过补偿氮不均匀性形成氧化物/氮化物层叠之方法

摘要

一种形成要求结合特定数量之氮的极薄绝缘层之方法，其中，由于在氮结合期间及／或在氮结合之后系执行氧化制程，故可令遍及该基材表面的氮变化效应随之减少。氮变化致使氮浓度取决于氧化速率，并且因此，氮浓度取决于绝缘层之厚度变化。尤其，包括用作为闸极绝缘层的薄绝缘层之电晶体临界变化可有效的降低。