光照射装置及光照射方法

摘要

本发明为一种雷射退火装置所用之光照射装置，其具有控制部(9)，藉由该控制部在转轴(7a)的转动由顺时针变成逆时针后，当检测出转角成为+β时，使固体雷射(4)之脉冲设为开，接着检测出转角成为-β时，将固体雷射的脉冲设为关，在转轴的转动由逆时针变成顺时针后，当检测出转角成为-β时，使固体雷射(4)之脉冲设为开，接着检测出转角成为+β时，将固体雷射的脉冲设为关。再且，控制部可在使可动基座(3)向定速移动方向定速移动，使光束由定速移动方向之一端至另一端地对退火对象物(2)进行照射后，将可动基座向特定距离移动方向移动特定之距离，进而使被照射物的整面受到均匀能量的照射。