发明名称 SPINDELANORDNUNG FÜR POLIERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60007642(T2) 申请公布日期 2004.10.07
申请号 DE2000607642T 申请日期 2000.08.11
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 SALDANA, A.
分类号 B24B41/047;B24B37/005;B24B41/04;B24B49/10;B24B49/16;G05B19/39;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B41/047
代理机构 代理人
主权项
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