发明名称 |
SPINDELANORDNUNG FÜR POLIERVORRICHTUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60007642(T2) |
申请公布日期 |
2004.10.07 |
申请号 |
DE2000607642T |
申请日期 |
2000.08.11 |
申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
SALDANA, A. |
分类号 |
B24B41/047;B24B37/005;B24B41/04;B24B49/10;B24B49/16;G05B19/39;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B41/047 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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