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发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF A BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1464080(A2) 申请公布日期 2004.10.06
申请号 EP20030729462 申请日期 2003.01.15
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 BOCK, KARLHEINZ;KOENIG, MARTIN
分类号 H01L21/50;H01L21/58;H01L21/98;H01L51/00;H01L51/30;(IPC1-7):H01L21/98 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
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