ENSEMBLE DESTINE A LA PULVERISATION CATHODIQUE MAGNETRON.

摘要

L'invention concerne une méthode pour améliorer l'uniformité de l'érosion à la surface de pulvérisation d'une cible destinée à la pulvérisation cathodique magnétron. L'invention est caractérisée en ce que l'on utilise, en relation avec un magnétron stationnaire par rapport à cette cible, un ensemble comprenant la cible de pulvérisation et au moins une pièce ferromagnétique insérée totalement ou partiellement dans cette cible ou juxtaposée à celle-ci et en ce qu'il est configuré de manière à modifier la courbure des lignes d'induction magnétique au niveau de la surface de pulvérisation de ladite cible.