发明名称
摘要
申请公布号 JP2004530159(A) 申请公布日期 2004.09.30
申请号 JP20020589881 申请日期 2002.04.25
申请人 发明人
分类号 C08F220/42;C08F232/00;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 C08F220/42
代理机构 代理人
主权项
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