| 发明名称 |
Laser mit verringerter Linienbreite und Raumfilter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60012420(D1) |
申请公布日期 |
2004.09.02 |
| 申请号 |
DE20006012420 |
申请日期 |
2000.05.05 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
ERSHOV, ALEXANDER I.;FOMENKOV, IGOR V. |
| 分类号 |
H01S3/225;G03F7/20;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/106;(IPC1-7):H01S3/22;G02B5/20 |
主分类号 |
H01S3/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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