等离子体处理设备和等离子体处理方法

摘要

提供一种等离子体处理设备和一种等离子体处理方法，使用等离子体以高速均匀地处理物体。它包括：一个具有侧向延长横截面的管状容器；一对电极，当AC电压或脉冲电压之一加到电极之间时，电力线大体上在管状容器的轴向；一个气体供应源，用来给管状容器提供流光产生气；一个电源，用来给电极之间提供电压以在管状容器里产生气体的多种流光；和一个等离子体均匀装置，用来使多种流光在管状容器侧向延长横截面的侧向均匀。

主权项

1.一种使用等离子体(P)处理物体(8)的等离子体处理设备，其特征在于包括：一个由电绝缘材料制作的管状容器(1)，它有一个侧向延长横截面，在它的一端有一个气体进口(10)，在另一端有一个等离子体出口(12)；一对电极(2，3)，围绕着管状容器排列，当AC电压和脉冲电压中的一种供应到所述电极之间时，电力线大体上生成在所述管状容器的轴向方向上；一个气体供应源，用来通过所述气体进口给所述管状容器提供一种流光产生气；一个电源(4)，用来给所述电极之间提供所述AC电压或脉冲电压之一来在所述管状容器里产生所述气体的多种流光；和一种等离子体均匀装置，用来使多种流光在所述管状容器侧向延长横截面的侧向方向上变得均匀，以便从所述等离子体出口提供所述等离子体。