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发明名称
Verfahren zur Durchführung von Planarisierungs- und Grabensätzung und Vorrichtung dafür
摘要
申请公布号
DE69825112(D1)
申请公布日期
2004.08.26
申请号
DE19986025112
申请日期
1998.09.19
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
CHAUDHARY, NIRMAL
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01J37/08
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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