| 主权项 |
1.一种改良式调节器手臂,其一端装设于化学机械 研磨机台上,该手臂之另一端设置有一研磨垫承载 装置,用以装设研磨垫,该研磨垫承载装置可轻微 地上下转动;其特征在于:该手臂上另设有一转动 装置,该转动装置可轻微地左右转动,而使研磨垫 于研磨过程中,可更贴合研磨物的表面。 2.如申请专利范围第1项所述之改良式调节器手臂, 其中,该转动装置系设置于该手臂之悬臂上。 3.如申请专利范围第1项所述之改良式调节器手臂, 其中,该转动装置系设置于该手臂之悬臂与该研磨 垫承载装置连接处。 4.如申请专利范围第2项所述之改良式调节器手臂, 其中,装设该转动装置系先将该改良式调节器手臂 分成两部份,再利用该转动装置将此手臂之两端连 接者。 图式简单说明: 第一图为习知调节器手臂构造图。 第二图为习知调节器手臂侧视图。 第三图为本创作之改良式调节器手臂示意图。 第四图为装设转动装置处放大示意图。 |
