电气探针系统

摘要

一种电气探针系统，具有：用来保持被检基板(10)之保持机构(2)、及可相对于该保持机构(2)而定位之探针单元(3)，该探针单元(3)具备有：在第1行程变域(V1)内，能藉由预定范围(2△Z)的接触压力弹性接触于该基板(10)的第1接触垫群(11k)之第1探针群(5a)；在与该第1行程变域(V1)不同的第2行程变域内，能藉由该预定范围(2△Z)的接触压力弹性接触于该基板(10)的第2接触垫群(11k)之第2探针群(5b)；及插设有该第1及第2探针群(5a、5b)之探针支持器(3d)。