显像方法及显像装置

摘要

于本发明之显像方法及显像装置中，浓度测量部撷取部分调配槽内的显像液，藉由吸光光度法来测量光阻剂浓度，且将测量结果(光阻剂浓度测量值)送至控制部。控制部则控制TMAH原液供给管、溶剂供给管及排放管之各开关阀，以进行显像液的成分调整，使调配槽内显像液的TMAH浓度达到对应于可将显像率维持固定之光阻剂浓度测量值的TMAH浓度值。从调配槽移至供给槽的显像液藉由驱动泵且通过显像液供给管而送至显像处理部的显像液喷嘴。因此，在显像处理中，即使多次再利用显像液，亦可确保显像均一性。