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经营范围
发明名称
Einrichtung zur Realisierung eines Flüssigkeitskreislaufes für eine Waschflüssigkeit
摘要
申请公布号
DE59909888(D1)
申请公布日期
2004.08.12
申请号
DE1999509888
申请日期
1999.03.25
申请人
DAS-DUENNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GMBH DRESDEN;VSS-UMWELTTECHNIK GMBH;K-KUNSTSTOFFSYSTEMS GMBH
发明人
REICHARDT, DR.;VOSEN, MICHAEL;HOFMANN, GEROLD;ROOS, CHRISTOPH;MERFORTH, EGBERT
分类号
B01D53/18;B01D53/78;(IPC1-7):B01D53/78
主分类号
B01D53/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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