发明名称 Einrichtung zur Realisierung eines Flüssigkeitskreislaufes für eine Waschflüssigkeit
摘要
申请公布号 DE59909888(D1) 申请公布日期 2004.08.12
申请号 DE1999509888 申请日期 1999.03.25
申请人 DAS-DUENNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GMBH DRESDEN;VSS-UMWELTTECHNIK GMBH;K-KUNSTSTOFFSYSTEMS GMBH 发明人 REICHARDT, DR.;VOSEN, MICHAEL;HOFMANN, GEROLD;ROOS, CHRISTOPH;MERFORTH, EGBERT
分类号 B01D53/18;B01D53/78;(IPC1-7):B01D53/78 主分类号 B01D53/18
代理机构 代理人
主权项
地址