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发明名称 TUNGSTEN CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING PROCESS USING A FIXED ABRASIVE POLISHING PAD AND A TUNGSTEN LAYER CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING SOLUTION SPECIFICALLY ADAPTED FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING WITH A FIXED ABRASIVE PAD
摘要
申请公布号 KR100443458(B1) 申请公布日期 2004.08.09
申请号 KR20017005822 申请日期 2001.05.09
申请人 发明人
分类号 B24B37/00;C09K3/14;C09K13/04;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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