| 发明名称 |
Organic anti-reflective coating material and its preparation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2349148(B) |
申请公布日期 |
2004.08.04 |
| 申请号 |
GB19990027833 |
申请日期 |
1999.11.26 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
MIN-HO * JUNG;SUNG-EUN * HONG;KI-HO * BAIK |
| 分类号 |
H01L21/027;C07C69/00;C07C69/017;C07C69/54;C07C69/773;C08F8/00;C08F20/12;C08F20/18;C08F220/14;C08F220/28;C08K5/07;C08L33/04;C09D5/00;C09D133/06;G03F7/11;(IPC1-7):C07C69/54;C08F12/22;C08F12/32;C08F20/30;C09D5/32 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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