半导体晶圆之处理装置

摘要

一种光微影处理装置，包含有：供气路径(1200)，用来将空气供给到用以处理晶圆(1500)之处理室内；温湿调整器(1100)，被设在供气路径(1200)；温湿度监视感测器(1300)，用来检测处理室内之温度和湿度；和控制器(1000)，连接到温湿度监视感测器(1300)和温湿调整器(1100)，用来控制温湿调整器(1100)，藉以将与温湿度监视感测器(1300)所检测到之处理室内之空气之温度和湿度相同之温度和湿度之空气，经由供气路径(1200)供给到处理室内。