发明名称 一种铁电层电极结构及制造方法
摘要 本案系指一种铁电层电极结构及制造方法,其制造方法系包含下列步骤:(a)提供一基板;(b)形成一绝缘层于该基板上;(c)形成复数个氧化物电极于该绝缘层之上;(d)形成一铁电层于该绝缘层及该复数个氧化物电极之上;以及(e)相对于该复数个氧化物电极形成复数个金属电极于该铁电层之上。
申请公布号 TW200414439 申请公布日期 2004.08.01
申请号 TW092101164 申请日期 2003.01.20
申请人 曾俊元;李显亿 台南县新营市民治路一四三号 发明人 曾俊元;李显亿
分类号 H01L21/8239;H01L29/772;C23C16/06;C23C16/18 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 新竹市建中一路三十一号十四楼之三