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发明名称
一种铁电层电极结构及制造方法
摘要
本案系指一种铁电层电极结构及制造方法,其制造方法系包含下列步骤:(a)提供一基板;(b)形成一绝缘层于该基板上;(c)形成复数个氧化物电极于该绝缘层之上;(d)形成一铁电层于该绝缘层及该复数个氧化物电极之上;以及(e)相对于该复数个氧化物电极形成复数个金属电极于该铁电层之上。
申请公布号
TW200414439
申请公布日期
2004.08.01
申请号
TW092101164
申请日期
2003.01.20
申请人
曾俊元;李显亿 台南县新营市民治路一四三号
发明人
曾俊元;李显亿
分类号
H01L21/8239;H01L29/772;C23C16/06;C23C16/18
主分类号
H01L21/8239
代理机构
代理人
蔡清福
主权项
地址
新竹市建中一路三十一号十四楼之三
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