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发明名称 Production method for a semiconductor component
摘要
申请公布号 US2004147102(A1) 申请公布日期 2004.07.29
申请号 US20030477620 申请日期 2003.11.14
申请人 SCHNEEGANS MANFRED;JAGER WOLFGANG;BEWERSDORFF-SARLETTE ULRIKE;WEGE STEPHAN 发明人 SCHNEEGANS MANFRED;JAGER WOLFGANG;BEWERSDORFF-SARLETTE ULRIKE;WEGE STEPHAN
分类号 H01L21/28;H01L21/321;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/44;H01L21/476 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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