| 发明名称 |
Electrostatic microvalve and a method for the operation thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004144939(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
US20040753896 |
申请日期 |
2004.01.08 |
| 申请人 |
FESTO AG & CO |
发明人 |
GIOUSOUF METIN;MUTH ANDREAS |
| 分类号 |
F15C5/00;F16K99/00;(IPC1-7):F16K31/02 |
主分类号 |
F15C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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