微沉积装置

摘要

按照本发明的一种微沉积装置和方法，用于将一种液体制造材料沉积在一个基底上，以形成微结构。该装置包括一个微沉积头部，安装在一个头部支承上，以及保持在一个基底上面，而基底是安装在一个工作台上，与微沉积头部可控制地对准。一个控制系统移动此工作台，因而移动此基底，而这时由微沉积头部排放液体制造材料。一个诊断组件保证微沉积头部的喷嘴正确地激发。一个维护站在当需要时清洗微沉积头部的喷嘴。一个封盖站和一个停泊站在不使用时保持微沉积头部。

主权项

1.一种在一个基底上沉积一种液体材料用的装置，该装置包括：一个微沉积头部，具有一个喷嘴组件，以及能够工作，以便由上述的喷嘴组件排放液体材料的液滴到基底上；一个工作台，设计用于固定地接收基底和相对于上述的微沉积头部移动基底；一个头部支承，可拆卸地安装上述的微沉积头部在上述的工作台的上面；以及一个控制系统，与上述的微沉积头部和上述的工作台相连接，以控制由上述的喷嘴组件排放到基底上的液体制造材料的液滴的沉积。