压力式流量控制装置的流量异常检知方法

摘要

在利用节流孔的压力式流量控制装置上，一面进行流体的流量控制，一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力P_i保持在下游侧压力P₂的约2倍以上，按Q_C＝KP₁(K为常数)计算下游侧流量Q_S，根据该计算流量Q_C与设定流量Qs的差信号Q_y对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中，由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅V_O的检定用信号ΔQ_S，测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P₁的脉动压力ΔP₁的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅V_t时，报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQ_S叠加在正常设定流量信号Q_SO上向控制阀CV输出时，能一面根据正常设定流量信号Q_SO进行流量控制一面检知流量异常。

主权项

1.一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的2倍以上的状态下，根据QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QC，根据该计算流量QC与设定流量QS之差的信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制，其特征在于：另外设置检定回路(31)，在遮断了前述控制阀(CV)的流量控制的状态下，由检定回路(31)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。