发明名称 | 制造无铅焊料凸块的方法 | ||
摘要 | 一种制造无铅焊料凸块的方法,包括:提供基片,所述基片具有带开放电极焊盘的保护层;在基片上形成UBM(底部凸起金属化)层;在UBM层上光刻光刻胶,除UBM层对应电极焊盘的部分之外;在UBM层对应电极焊盘的部分上形成铜层;将焊料电镀在铜层上;去除光刻胶;以及使用焊料作为掩模蚀刻UBM层,并且回流焊料、制造焊料凸块。 | ||
申请公布号 | CN1509838A | 申请公布日期 | 2004.07.07 |
申请号 | CN200310104780.6 | 申请日期 | 2003.11.03 |
申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 张世映 |
分类号 | B23K35/26;B23K35/40 | 主分类号 | B23K35/26 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王新华 |
主权项 | 1.一种制造无铅焊料凸块的方法,包括:提供基片,所述基片具有带开放电极焊盘的保护层;在基片上形成UBM(底部凸起金属化)层;在UBM层上光刻光刻胶,除UBM层对应电极焊盘的部分之外;在UBM层对应电极焊盘的部分上形成铜层;将焊料电镀在铜层上;去除光刻胶;以及使用焊料作为掩模蚀刻UBM层,并且回流焊料、制造焊料凸块。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |