发明名称 制造无铅焊料凸块的方法
摘要 一种制造无铅焊料凸块的方法,包括:提供基片,所述基片具有带开放电极焊盘的保护层;在基片上形成UBM(底部凸起金属化)层;在UBM层上光刻光刻胶,除UBM层对应电极焊盘的部分之外;在UBM层对应电极焊盘的部分上形成铜层;将焊料电镀在铜层上;去除光刻胶;以及使用焊料作为掩模蚀刻UBM层,并且回流焊料、制造焊料凸块。
申请公布号 CN1509838A 申请公布日期 2004.07.07
申请号 CN200310104780.6 申请日期 2003.11.03
申请人 三星电子株式会社 发明人 张世映
分类号 B23K35/26;B23K35/40 主分类号 B23K35/26
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王新华
主权项 1.一种制造无铅焊料凸块的方法,包括:提供基片,所述基片具有带开放电极焊盘的保护层;在基片上形成UBM(底部凸起金属化)层;在UBM层上光刻光刻胶,除UBM层对应电极焊盘的部分之外;在UBM层对应电极焊盘的部分上形成铜层;将焊料电镀在铜层上;去除光刻胶;以及使用焊料作为掩模蚀刻UBM层,并且回流焊料、制造焊料凸块。
地址 韩国京畿道