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发明名称 METHOD OF PLASMA DOPING
摘要
申请公布号 AU2003284404(A1) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 AU20030284404 申请日期 2003.11.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 YUICHIRO SASAKI;BUNJI MIZUNO;ICHIRO NAKAYAMA;HISATAKA KANADA;TOMOHIRO OKUMURA
分类号 H01L21/265;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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