| 发明名称 |
PRODUCING METHOD FOR CRYSTALLINE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003283833(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.18 |
| 申请号 |
AU20030283833 |
申请日期 |
2003.11.26 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HIDEYA KUMOMI;TAKEO YAMAZAKI;MASATOSHI WATANABE |
| 分类号 |
C30B13/00;C30B13/24;H01L21/20;H01L21/77;(IPC1-7):H01L21/20;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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