弹簧旋臂结构之低驱动电压微机电微波开关

摘要

一种弹簧旋臂结构之低驱动电压微机电微波开关，主要采用面型微机电制程技术建构微波开关之主结构，再利用牺牲层掏空技术让结构悬空，使得开关结构可上下作动；其结构设计方面，采用3D可动结构，包含悬臂梁结构及弹簧支撑，利用静电力促使3D结构产生作动，达到讯号on／off的功能。其中悬臂梁结构可减少开关(上下电极)作动距离，进而减少开关切换时间，弹簧支撑可有效的减少结构弹性常数(springconstant)，进而减少结构作动所需之静电力，以达到低驱动电压之目的