发明名称
摘要
申请公布号 JP3527382(B2) 申请公布日期 2004.05.17
申请号 JP19970059229 申请日期 1997.03.13
申请人 发明人
分类号 B29C33/04;B29C35/04;F28D15/02;H01L21/30;(IPC1-7):B29C35/04 主分类号 B29C33/04
代理机构 代理人
主权项
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