微结构之制造方法及微结构之排列

摘要

本发明提出一种称为“蜂巢式波纹法”(zellulareDamascene－Methode)的方法，这种方法是在一个图案层内形成许多规则排列的封闭空腔(H)。这些空腔的尺寸与待形成的微结构尺寸属于同一个数量级。透过一个罩幕可将被选出的空腔(H’)打开，然后将位于这些空腔(H’)之间的分隔墙(4)去除，这样就可以形成沟槽(8)及通孔，然后以构成待形成之微结构(M)的材料(M)将这些沟槽(8)及通孔填满。接着再经由化学机械(CMP)步骤将多余的材料(M)去除。微结构特别为集成电路之互联机路及接触孔。

主权项

1.一种制造微结构的方法，这种方法包括以下的步骤：a)使设置于基材(S)上的一个图案层(2，S1，S2，S3)内的封闭空腔(H)形成一有规则的排列，其中空腔(H)与空腔(H)之间彼此被分隔墙(4)隔开；b)将要在其内形成微结构(M)的空腔(H’)打开；c)至少去除掉一部分相邻之开放空腔(H’)之间的分隔墙(4)，以形成延伸范围至少达两个空腔(H’)的沟槽(8)；d)将材料(M)填入沟槽(8)内以形成微结构(M)。