发明名称 COLLECTOR WITH FASTENING DEVICES FOR FASTENING MIRROR SHELLS
摘要
申请公布号 EP1415199(A2) 申请公布日期 2004.05.06
申请号 EP20020758381 申请日期 2002.07.23
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 SINGER, WOLFGANG;EGLE, WILHELM;WEISS, MARKUS;HAINZ, JOACHIM;WIETZORREK, JOACHIM;WANGLER, JOHANNES;MELZER, FRANK
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址