二维渐变折射率光学元件的制造方法及装置

摘要

一种二维渐变折射率分布光学元件之制造方法及装置，其中该制造方法包括以下步骤：提供一裸露外表面的波导，提供一掺杂元素离子源，使掺杂元素离子源发射极化离子，通过加速极化离子使其达到一高能量，以产生一极化离子束，且将高能量极化离子束引导并聚焦至波导的外表面，在波导中形成一预定折射率分布，高能量极化离子束的穿透力由该掺杂元素原子的能量决定。该制造装置包括：至少一气体源、一电源、至少一离子源、一分析器磁体、一加速管、一对相对设置的Y轴扫描板、一对相对设置的X轴扫描板、一法拉第筒、一用于波束线点位置扩散的泵浦及一供应器，其中该至少一气体源至少包括一种气体，供应器可连续供应目标光学元件至目标位置。

主权项

1.一种二维渐变折射率光学元件的制造方法，其包括下列步骤：提供一裸露外表面的波导；提供一掺杂元素离子源；使该掺杂元素离子源发射极化离子；通过加速该极化离子使其达到一高能量，以产生一极化离子束；且将该高能量极化离子束引导并聚焦至该波导的外表面，在该波导中形成一预定折射率分布，该高能量极化离子束的穿透力由该掺杂元素原子的能量决定。