| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR IMPROVING SURFACES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1038306(B1) |
申请公布日期 |
2004.04.28 |
| 申请号 |
EP19980964488 |
申请日期 |
1998.12.08 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
JUNG, THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/302;H05H1/24;B01J19/08;C23C14/02;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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