| 发明名称 |
SLIT LENS ARRANGEMENT FOR PARTICLE BEAMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1410416(A2) |
申请公布日期 |
2004.04.21 |
| 申请号 |
EP20020754429 |
申请日期 |
2002.07.24 |
| 申请人 |
CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH;CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
MUELLER, HEIKO |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/10;H01J37/153;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/10 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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