发明名称 Methods of fabricating articles and sputtering targets
摘要 Described is a high quality sputtering target and method of manufacture which involves application of equal channel angular extrusion.
申请公布号 US6723187(B2) 申请公布日期 2004.04.20
申请号 US20010912476 申请日期 2001.07.24
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 SEGAL VLADIMIR;WILLETT WILLIAM B.;FERRASSE STEPHANE
分类号 B21C23/00;B22D7/00;C22F1/00;C22F1/04;C23C14/34;(IPC1-7):C22F1/00 主分类号 B21C23/00
代理机构 代理人
主权项
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