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经营范围
发明名称
Hochreines Hafnium und dessen Verwendung als Sputtertarget
摘要
申请公布号
DE69133267(T2)
申请公布日期
2004.04.08
申请号
DE1991633267T
申请日期
1991.02.15
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI
发明人
ISHIGAMI, TAKASHI;OBATA, MINORU;KAWAI, MITUO;SATOU, MICHIO;YAMANOBE, TAKASHI;MAKI, TOSHIHIRO;YAGI, NORIAKI;ANDO, SHIGERU
分类号
C22B9/22;C22B34/10;C22B34/12;C23C14/34;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):C22B34/10
主分类号
C22B9/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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