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发明名称 Plasma-Massenfilter
摘要
申请公布号 DE69914856(D1) 申请公布日期 2004.03.25
申请号 DE19996014856 申请日期 1999.11.01
申请人 ARCHIMEDES TECHNOLOGY GROUP, INC. 发明人 OHKAWA, TIHIRO
分类号 H01J49/26;B01J19/08;H01J49/30;(IPC1-7):H01J49/42;H01J49/48;H05H1/46;H01J37/32 主分类号 H01J49/26
代理机构 代理人
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