发明名称 Vertical power MOSFET having a trench gate electrode and method of making the same
摘要
申请公布号 EP1271655(A3) 申请公布日期 2004.03.17
申请号 EP20020014018 申请日期 2002.06.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 ONO, SYOTARO;KAWAGUCHI, YUSUKE
分类号 H01L29/08;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/08
代理机构 代理人
主权项
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